数据来源：TECHCET，华特气体，国盛证券研究所
数据如下：
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| 序号 | 气体类型 | 市场占比 |
|---|---|---|
| 1 | 其他 | 35% |
| 2 | 硅烷 | 22% |
| 3 | 三氟化氮 | 13% |
| 4 | 掺杂气 | 10% |
| 5 | 氟碳类气体 | 6% |
| 6 | 笑气 | 4% |
| 7 | 六氟化钨 | 4% |
| 8 | 高纯氨 | 3% |
| 9 | 锗烷 | 3% |
发布于 2024-05-29 22:59:28
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